小型中走絲，北達科他州立大學的KAABI L等人建立了拋物線型空腔的電容式絕對壓力傳感器的理論模型。為了實現40 Pa以下的絕對壓力的測量，他們設計了一種相應的調節器，可以實現壓力的直接讀取，分辨率達到1 Pa。

小型中走絲，調節器的工作原理也是首先將電容值通過振蕩器轉換為相應的頻率值，然后利用一個BCD計數器和譯碼器將頻率值直接轉變為壓力值。調節器的實現簡單易行，試驗結果與理論結果吻合得很好。

小型中走絲，壓力傳感器的發展方向，從改進傳感器方面來說，現有研究都集中在優化傳感器結構與改良工藝方面，發掘新材料的報道卻鮮有。所以發掘楊氏模量低和介電常數大的新材料應用于小量程MEMS電容式壓力傳感器是很有希望的一個研究方向。

小型中走絲，可動極板采用楊氏模量低的材料可以提高其形變量，介電層采用介電常數大的材料可以增大傳感器的輸出電容式值。有很多高分子聚合物(Polymers)材料滿足這樣的設計要求,比如聚對二甲苯（parylene）、聚二甲基硅氧烷(PDMS)、SU-8、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚已酸內酯(polycaprolactone)、聚苯乙烯(pplystyrene)等。在這些材料中，PDMS不僅可以軟刻蝕，而且具有鑄造高保真的優點，因而最適合用來制作壓力傳感器。其楊氏模量可調，約750 kPa。